昂坤視覺近期推出了針對MicroLED外延檢測高端設備E3200micro，gaishebeizaiangkunshijiaoshangyidailiangkuanlanlvguanghehongguangwaiyanpianjianceshebeidejichushang，jianceguangxuexitongzhongxinzuoleshejihetisheng，zaiyitaishebeishangjichenglebiaomianquexianhehong，lanhelvguangwaiyanpiandeyingguangquexianjiance。biaomiankelidezuixiaojingdudadaole60nm，熒光缺陷像素分辨率0.5um。
昂坤視覺Mciro LED的檢測設備E3200micro
E3200micro明場采用微分幹涉DIC檢測係統，可以對外延片表麵的晶格缺陷形貌成像檢測和AI分類；暗場采用激光散射，顆粒檢測精度最低可以達到60nm。
E3200micro針對不同顏色發光的外延片，配備了相應的激發激光和適配的收集係統，可以對GaAs外延紅光， GaN 外延綠光和GaN外延藍光進行熒光缺陷檢測，並且缺陷和表麵缺陷進行融合和AI分類。
（全彩相機，Red GaAs PL Map）
（全彩相機，Green GaN PL Map）
（全彩相機，Blue GaN PL Map）
該設備為Micro LED全彩顯示提供了從外延生長到芯片製程的一體化質量監控方案，為Micro LED外延片在AR/VR、透明顯示及車載HUD等新興場景的規模化落地提供核心技術支撐。設備推出後，已經有多家客戶送樣測試，並獲得多台訂單和發貨。
【附：Eagle 係列設備介紹】
E1000：專注於 InP、GaAs、LT、LN、玻璃等晶圓的缺陷檢測。針對這類晶圓的典型特征，采用明暗場光學檢測係統與缺陷自動檢測分類算法，可快速精準識別並分類 Pit（凹坑）、Bump（凸點）、Particle（顆粒）、Scratch（劃痕）等常見缺陷。
E3200：適用於 GaN 襯底及藍寶石（Sapphire）、矽（Si）、碳化矽（SiC）、氮化镓（GaN）等各類襯底的 GaN 外延缺陷檢測。依托多通道光學檢測係統與缺陷自動檢測分類算法，為晶圓質量控製與工藝優化提供有力支持。
E3500：專為 SiC 襯底片與外延片缺陷檢測打造。針對 SiC 缺陷類型多樣的特點，融合多通道光學檢測係統與缺陷自動檢測分類算法，可快速精準識別並分類微管、層錯、三角形缺陷、台階聚集等常見缺陷，助力 SiC 產品質量把控與生產工藝升級。
【關於昂坤視覺】
昂坤視覺於 2017 年在北京創立，下設南昌、杭州兩家全資半導體設備子公司。公司專注化合物半導體、光(guang)電(dian)及(ji)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)前(qian)端(duan)製(zhi)造(zao)領(ling)域(yu)，致(zhi)力(li)於(yu)提(ti)供(gong)光(guang)學(xue)測(ce)量(liang)與(yu)檢(jian)測(ce)設(she)備(bei)及(ji)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)，秉(bing)持(chi)打(da)造(zao)國(guo)際(ji)水(shui)準(zhun)晶(jing)圓(yuan)檢(jian)測(ce)設(she)備(bei)的(de)願(yuan)景(jing)，持(chi)續(xu)深(shen)耕(geng)技(ji)術(shu)研(yan)發(fa)。
憑借多年自主創新與技術積累，昂坤視覺已具備光學係統設計、成像技術、機器視覺及學習算法的核心研發能力，擁有多項自主研發的領先技術。公司先後榮獲國家高新技術企業、國家級專精特新 重點“小巨人” 企業、北京市企業技術中心等資質認證，並通過 ISO9001 質量管理體係認證，是一家集研發、生產、銷售、服務於一體的高科技企業，為半導體產業發展持續貢獻力量。（來源：昂坤視覺）
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